激光工作物質是混合氣或單一純氣體。由于激光混合氣中組分氣的純度直接影響激光的性能，特別是氣體中氧、水、碳氫化合物等雜質的存在將導致激光輸出功率在鏡(面)和電極上的耗損，還會引起激光發(fā)射的不穩(wěn)定。因此，對激光混合氣組分的純度有著特殊要求，包裝混合氣的鋼瓶，充裝前也必須進行干燥處理，防止污染混合氣。如果將氦(He)氖(Ne)激光作為第一代氣體激光，二氧化碳激光是第二代氣體激光，在半導體制造領域將大量使用的氟化氪(KrF)激光，可稱為第三代激光。

密閉操作，局部排風，儲存于陰涼、通風的庫房。遠離火種、熱源。避免光照。庫溫不宜超過30℃。工作人員必須經過專門培訓，嚴格遵守操作規(guī)程。使用防爆型的通風系統(tǒng)和設備。防止氣體泄漏到工作場所空氣中。應與酸類、堿類、醇類、食用化學品分開存放，切忌混儲。采用防爆型照明、通風設施。禁止使用易產生火花的機械設備和工具。儲區(qū)應備有泄漏應急處理設備。應嚴格執(zhí)行極毒物品“五雙”管理制度。在傳送過程中，鋼瓶和容器必須接地和跨接，防止產生靜電。禁止撞擊和震蕩。配備相應品種和數量的消防器材及泄漏應急處理設備。